检测对象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理：热线型半导体式
采样方式：自动吸引式
应用行业：半导体制造
产品描述：半导体材料气体检测
01.产品特点
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● 最适合氢气相关设备的保安
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体泄漏检测产品用途
半导体工厂/石油化学工厂等
在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体泄漏检测产品参数
| 型号 | XP-703DⅢ |
| 检测对象气体 | H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
| 检测原理 | 热线型半导体式 |
| 采集方式 | 自动吸引式 |
| 可检测泄漏量 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
| 可检测浓度 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
| 反应时间 | 10秒以内 |
| 显示方式 | 液晶数字（手动背景灯） |
| 电源（额定） | 5号碱性干电池（LR6） 2节 |
| 电池使用时间※1 | 约12小时（5号碱性干电池、25℃时） |
| 保护等级※2 | 相当于IP22※3 |
| 使用压力范围 | 大气压（800～1100kpa） |
| 使用温湿度范围 | 0～40℃/85%RH以下（但不能结露） |
| 外形尺寸 | W38×H130×D32㎜（突出部分除外） |
| 重量 | 约190g（包括电池、皮套） |
